Главная >> Новости >> Статьи >>

Технологическая система для проведения глубокого плазмохимического травления

синусоидальное магнитное поле, индуктивность

Ясюнас А.А., Котов Д.А. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР), Кафедра микро- и наноэлектроники.

Тенденция развития технологии производства импульсных систем (ИС), создание МЭМС (микроэлектромеханических систем) предъявляет высокие требования к глубине и скорости травления, высокой селективности, равномерности обработки и аспектному соотношению глубины и ширины.

• Скачать полный текст (в формате PDF)