Главная >> Новости >> Статьи >>

Устройства со скрещенными электрическим и магнитным полями для нанесения тонкопленочных покрытий на подложки большой площади

Магнитостатика, электронная оптика

Соловьев А.А. Российская Академия Наук Сибирское Отделение Институт Сильноточной Электроники.

Целью работы является повышение эффективности технологических устройств со скрещенными электрическими и магнитными полями для промышленного нанесения перспективных тонкопленочных покрытий на подложки большой площади и исследование технологий с их использованием.

• Скачать полный текст (в формате PDF)