Главная >> Новости >> Статьи >>

Моделирование и численные исследования параметров магнетронных распылительных систем

Магнитостатика, электронная оптика

Мельников С. Н., Кундас С. П., Свадковский И.В. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР).

Представлены результаты моделирования нескольких типов магнетронных распылительных систем. Методом сравнительного анализа конфигураций магнитных полей определены параметры, которые могут служить критериями степени несбалансированности.

• Скачать полный текст (в формате PDF)