ELCUT
Новый подход
к моделированию полей

Главная >> Применение >> Типовые примеры >>

Микроэлектромеханический датчик деформаций

МЭМС датчик механических напряжений, моделирование датчика деформаций

Датчик деформаций меняет свою форму при приложении внешнего усилия. При изменении формы расстояние между электродами меняется и меняется электрическая ёмкость.

Тип задачи
Плоско-параллельная мультифизичная задача электростатики и механики .

Геометрия
Микроэлектромеханический датчик деформаций Датчик деформаций меняет свою форму при приложении внешнего усилия. При изменении формы расстояние между электродами меняется и меняется электрическая ёмкость. Полисиликон Медь Медь Сила 20μм 1μм 14μм

Дано

Модуль Юнга Коэффициент Пуассона
Полисиликон 130 ГПа 0.1
Медь 140 ГПа 0.34

Задание
Рассчитать механические деформации датчика и изменение электрической ёмкости.

Решение
Сначала решается для недеформированной геометрии решается задача электростатики и находится исходная электрическая ёмкость датчика.
Затем для той же модели решается механическая задача и определяется величина деформации (деформированная форма датчика). На основе этой деформированной формы с помощью утилиты Stress Deform строится новая геометрическая модель. И для этой модели опять решается задача электростатики и находится электрическая ёмкость датчика в деформированном состоянии.

Результат
Электрическая ёмкость датчика в исходном состоянии 0.0026 пкФ
Электрическая ёмкость датчика при деформации 0.0028 пкФ (+10%)

Напряженность электрического поля и деформированная форма датчика
Напряженность электрического поля и деформированная форма датчика

Решение задач 3D стационарной теплопередачи в ELCUT


Продукт
Заказ
Запросить пробную версию
Модификации
Функциональность, Состав
Программирование
Спецкурсы

Применение
Промышленность
Образование
Наука
Типовые примеры
Отзывы
Пользователи

Поддержка
Онлайн семинары
Виртуальный класс
Вход для клиентов
Словарь
Тестирование

Загрузить
ELCUT Студенческий
Руководство пользователя
Библиотеки материалов
Видео
Бесплатные утилиты

Новости
Новые версии
События
Статьи
Подписка

Контакты
О компании
Как нас найти
Консультации
Поддержка онлайн
Партнеры