ELCUT
Новый подход
к моделированию полей

Главная >> Применение >> Типовые примеры >>

Микрогребенка

пондеромоторная сила микрогребенки, моделирование электростатического поля, микроэлектромеханическое устройство

Микрогребенка - это миниатюрное электромеханическое устройство, в котором используется электростатическая сила между двумя противоположно заряженными телами.

Тип задачи:
Плоско-параллельная задача электростатики

Геометрия:
Микрогребенка Микрогребенка - это миниатюрное электромеханическое устройство, в котором используется электростатическая сила между двумя противоположно заряженными телами. V+ V- 4 μм Lz = 40 μм 80 μм x Зазор d

Толщина гребенки Lz = 40 μм.
Зазор d = 2.5 μм.

Дано
Относительная диэлектрическая проницаемость воздуха ε = 1,
Относительная диэлектрическая проницаемость полупроводника ε = 10,
Разность потенциалов ΔU = 40 В

Задание
Определить силу притяжения по ширине гребенки и сравнить полученный результат с аналитическим:*
F = 0.5 · εε0 · n·Lz · U² / d [Н],
где n - число воздушных зазоров.

Решение
Модель содержит только одну пару зубцов (два воздушных зазора, n=2). Граничное условие Dn=0 используется на плоскости симметрии.

Результат
Аналитическое решение (сила, действующая на пару электродов, n=2):
F = 0.5 · 1 · 8.854e-12 · 2·40e-6 · 40² / 2.5e-6 = 2.27e-7 Н.

Сила F
Аналитическое решение 2.27e-7 Н (88%)
2D Плоско-параллельная задача 2.29e-7 Н (89%)
3D задача 2.58e-7 Н (100%)

Микрогребенка. Плоско-параллельная задача электростатики
Микрогребенка. 3D задача электростатики

* Википедия: Comb drive.

Сертификаты ELCUT по ГОСТ, СП, ИСО, СанПиН


Продукт
Заказ
Запросить пробную версию
Модификации
Функциональность, Состав
Программирование
Спецкурсы

Применение
Промышленность
Образование
Наука
Типовые примеры
Отзывы
Пользователи

Поддержка
Онлайн семинары
Виртуальный класс
Вход для клиентов
Словарь
Тестирование

Загрузить
ELCUT Студенческий
Руководство пользователя
Библиотеки материалов
Видео
Бесплатные утилиты

Новости
Новые версии
События
Статьи
Подписка

Контакты
О компании
Как нас найти
Консультации
Поддержка онлайн
Партнеры