Оценка характеристик автоэмиссионных наноструктур на основе кремния и карбида кремния

Светличный А. М., профессор, Спиридонов О. Б., доцент, Волков Е. Ю., асп., Линец Л. Г., асп., Григорьев М. Н., асп.. Технологический институт федерального государственного автономного образовательного учреждения высшего профессионального образования "Южный федеральный университет", г. Таганрог.

Проведена оценка характеристик автоэмиссионных наноструктур на основе карбида кремния и кремния. Определены зависимости плотности автоэлектронной эмиссии от напряженности электрического поля. Построены вольт-амперные характеристики катодов на основе кремния и карбида кремния..

Download Скачать полный текст (в формате PDF)