Новый подход к
моделированию полей
Языковые версии сайта:
Language no-Pyccku Global English Deutsch Espanol Francais Italiano Danmark Ceske Chinese

>> >> >>

Технологическая система для проведения глубокого плазмохимического травления

Ясюнас А.А., Котов Д.А.. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР), Кафедра микро- и наноэлектроники.

Тенденция развития технологии производства импульсных систем (ИС), создание МЭМС (микроэлектромеханических систем) предъявляет высокие требования к глубине и скорости травления, высокой селективности, равномерности обработки и аспектному соотношению глубины и ширины..

Download Скачать полный текст (в формате PDF)

Моделирование высоковольтных систем в ELCUT


Карта сайта