Новый подход к
моделированию полей
Языковые версии сайта:

>> >> >>

Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишени

Кирия Л. Т., Котов Д.А., Родионов Ю.А.. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР).

Одним из основных промышленных показателей эффективности магнетронной распылительной системы является коэффициент использования материала мишени, который зависит от параметров магнитной ловушки над поверхностью катода. Поэтому с целью улучшения этого параметра были проведены исследования различных конфигураций магнитной системы разрядного устройства..

Download Скачать полный текст (в формате PDF)

Сертификаты ELCUT по ГОСТ, СП, ИСО, СанПиН


Карта сайта