Главная >> Новости >> Статьи >>

Магнетронная распылительная система с высоким коэффициентом использования материала мишени

Магнитостатика, электронная оптика

Кирия Л. Т., Котов Д.А., Родионов Ю.А. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники (БГУИР).

Одним из основных промышленных показателей эффективности магнетронной распылительной системы является коэффициент использования материала мишени, который зависит от параметров магнитной ловушки над поверхностью катода. Поэтому с целью улучшения этого параметра были проведены исследования различных конфигураций магнитной системы разрядного устройства.

• Скачать полный текст (в формате PDF)